- Tytuł:
- Applying shallow nitrogen implantation from rf plasma for dual gate oxide technology
- Autorzy:
-
Bieniek, T.
Beck, R. B.
Jakubowski, A.
Głuszko, G.
Konarski, P.
Ćwil, M. - Tematy:
-
CMOS
dual gate oxide
gate stack
oxynitride
plasma implantation - Pokaż więcej
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/308685.pdf  Link otwiera się w nowym oknie
- Opis:
- The goal of this work was to study nitrogen implantation from plasma with the aim of applying it in dual gate oxide technology and to examine the influence of the rf power of plasma and that of oxidation type. The obtained structures were examined by means of ellipsometry, SIMS and electrical characterization methods.
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł